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你知道半导体前道晶圆制程对应的主要工序

2024-5-3
你知道半导体前道晶圆制程对应的主要工序
次进行,对设备产能效率要求高。上述原因也导致用于前道晶圆加工的半导体设备价格高昂,一条产能 1 万片月的 12 英寸晶圆产线设备投资额在数十亿元。