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咨询下各位键合工艺:D2W、W2W

2025-3-0
咨询下各位键合工艺:D2W、W2W
键合工艺:D2W、W2W• 无论W2W或D2W,其核心设备包括:CMP平坦化设备(确保键合表面原子级平坦度);等离子活化清洗机(对晶圆表面进行微观粗化和键合作用团激活,提高键合强度);高精度键合对准机。D2W额外需要高精度拾放机和可能的临时键合载板。• D2W可以细分为两类:• 可采用“集体转移(Collective D2W)”技术,即先将多颗裸片临时键合在载体晶圆上排成阵列,再整体与目标晶圆对准键合,然后移除载体• 采 用 顺 序 放 置 “ 单 颗 转 移 ( DirectPlacement D2W)”,按顺序一颗颗放置到另一个晶圆上对应位置,位置精度提到。图:Co-D2W vs DP-D2W数据来源:EVG,金元证券研究所