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一起讨论下北方华创首款 12 英寸电镀设备 Ausip T830

2025-3-0
一起讨论下北方华创首款 12 英寸电镀设备 Ausip T830
发布首款 12 英寸电镀设备,专为 TSV 铜填充设计。同日,北方华创正式发布公司首款 12英寸电镀设备(ECP)Ausip T830。该设备专为硅通孔(TSV)铜填充设计,主要应用于2.5D3D 先进封装领域。电镀作为物理气相沉积(PVD)的后道工艺,其设备与 PVD 设备协同工作,广泛应用于逻辑、存储、功率器件、先进封装等芯片制造工艺。在工艺流程中,PVD 设备首先在槽孔内形成籽晶层,随后电镀设备将槽孔填充至无空隙。根据公司数据,随着先进封装和三维集成技术的快速发展,电镀设备的全球市场规模已达每年 80-90 亿元人民币,且仍在加速扩张,预计未来几年将突破百亿大关。