> 数据图表谁能回答新凯来 RTP 设备应用场景2025-3-1RTP，代号三清山，是快速热处理设备。三清山 1 号可支持超薄致密硅氧生长。三清山 2 号是 12 英寸单片超快尖峰退火设备，覆盖尖峰退火超快尖峰退火等逻辑及存储应用领域，具备大行程磁悬浮升降运动控制及背照式退火能力，支持先进工艺持续演进。产品特点：1）大行程磁悬浮升降技术及高吸收选择性反射板设计，有效降低尖峰退火工艺热预算2）非对称式多区边缘补偿技术及智能温控算法，实现高均匀性退火工艺3）器件级同步技术及毫秒级控制环路技术，提升片间重复性4）智能开环温控算法及自适应热预算匹配设计，大幅提升工艺开发效率。三清山 3 号是 12 英寸单片均温尖峰退火设备，覆盖均温退火尖峰退火等逻辑及存储应用场景，具备低热预算调控及超低温退火能力，支持先进工艺持续演进。产品热点：1）高吸收选择性反射板设计及近表面氦冷流场控制技术，实现低热预算灵活调控2）辐射式超低温测温技术及选择性透射石英窗技术，实现超低温退火工艺3）器件级同比技术及毫秒级控制环路技术，提升片间重复性。平安证券综合其他
