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请问一下半导体制造八大步骤

2025-4-2
请问一下半导体制造八大步骤
光刻工艺是芯片制造流程中技术难度最大、成本最高、周期最长的环节。芯片制造流程可分为芯片设计、前道工序(芯片制造)和后道工序(封测)三个环节。前道工序是芯片产业链的核心环节,包括扩散、薄膜、光刻、刻蚀、离子注入、化学机械抛光((CMP)、金属化、量测等工序,通过层层往上叠的芯片制造流程,最终将芯片设计公司设计好的电路图移植到晶圆上,并实现预定的芯片电学功能。其中光刻工艺是芯片制造流程中技术难度最大、成本最高、周期最长的环节,光刻技术水平直接决定了芯片的最小线宽,定义了半导体器件的特征尺寸,直接决定芯片的制程水平和性能水平,先进技术节点的芯片制造需要 60-90 步光刻工艺,光刻成本占比约为 30%,耗费时间占比约为 40-50%。