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想关注一下光刻示意图

2025-4-2
想关注一下光刻示意图
光刻的核心工具包括光掩膜、光刻机和光刻胶。光刻工艺是指利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩(掩模版)对涂有光刻胶的薄片曝光,光刻胶见光后会发生性质变化,从而将光罩上得图形复印到晶圆上,使晶圆具有电子线路图的作用。光刻的核心工具包括光掩膜((如同芯片的蓝图,上面印有每一层结构的图案)、光刻机((像一把精确的画笔,能够引导光线在光刻胶上刻画出图案)和光刻胶(一种特殊的感光材料,通过光刻过程在光刻胶上形成图案,进而构建出三维结构)。