> 数据图表各位网友请教一下光线通过透镜系统聚焦成像示意图，n为介质折射率，为镜头的聚光角度2025-4-2光刻分辨率由光源波长、数值孔径、光刻工艺因子决定。根据瑞利准则，分辨率公式为 Rk1NA（（分辨率与数值孔径成反比，与光源波长和工艺参数成正比）。其中，NA 为光学器件的数值孔径，衡量系统所能收集光的角度范围，计算公式为 NAnsin（n 为介质折射率， 为孔径角（物镜光轴上点与物镜前透镜的有效直径所形成的角度）的一半），孔径角越大，透镜的光通量越大。K1 为光刻工艺因子，理论上单次曝光 k1 的最小极限约为 0.25。国盛证券综合其他
