> 数据图表各位网友请教一下投影式光刻机的光学原理示意图2025-4-24） 扫描狭缝：共面式扫描狭缝单元主要由置于同一平面的 4 个相互正交的刀片及驱动部件组成。当 4 个刀片形成的狭缝面与光轴垂直时，4 个方向上的刀片在掩模面或硅片面上形成的刀口半影一致，且单个刀片在掩模面或硅片面内的不同位置处形成的刀口半影也一致。5） 中继镜：分为前组、后组和反射镜，通常包含 7-12 个透镜，负责将扫描狭缝上的照明光场成像到掩模面上，实现照明系统与投影物镜的衔接，且不仅需要满足不同光瞳大小和环宽的照明模式需求，并且要尽量减少照明光场不均匀性在中继过程中的恶化。国盛证券综合其他
