> 数据图表如何才能六镜系统光路图（（NA为0.5，所有反射镜都是离轴非球面元件）2025-4-2投影物镜结构类型主要包括全折射型、折反射型、全反射型。由于单片镜片存在像差、球差等问题，投影物镜多采用组合镜片进行纠正，DUV 光刻机物镜多采用折射式设计（（即镜片均为透镜），随着技术演进向浸没式，镜片组中也会加入反射镜，镜片组中同时包含透镜与反射镜，以实现相同条件下更大数值孔径，进入 EUV 领域，由于 EUV 使用的波长为 13.5nm，该波段的光几乎没有光学材料可以透过，只能采用全反射式进行设计。国盛证券综合其他
