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一起讨论下双频激光干涉仪原理图

2025-4-2
一起讨论下双频激光干涉仪原理图
外差干涉技术:外差干涉又称双频干涉或者交流干涉,是利用“拍频”现象,在单频干涉基础上发展而来的一种干涉测量技术。所谓外差即将要接收的信号调制在一个已知频率信号上,再在接收端解调该调制信号。利用外差干涉技术,可以用低频拍频信号把难以精确测量的高频信号的相位变化解调出来,大大降低后续精确鉴相的难度。与单频干涉技术相比,外差干涉技术在光电探测时避过低频噪声区,提高了光电信号信噪比,因此更适用于工业现场,可根据差频信号的增减直接判别运动方向,无需复杂的鉴相系统。 双频激光干涉仪由单频激光干涉仪的基础上结合外差干涉技术发展而来。双频激光器发出两列偏振态正交的具有不同频率的线偏振光,经过偏振分光器后光束被分离。偏振态平行于纸面光束透过干涉仪后,被目标镜反射回干涉仪。利用被测目标镜移动时,产生多普勒效应的多普勒偏移量承载其位移信息。经过干涉镜后,与频率为参考光束会合,发生拍频,经光电探测器转换为电信号,放大整形后,去除直流量,将交流量转换为一组脉冲信号。并从双频激光器中输出另一脉冲信号,测试板卡采用减法器对两列信号相减,得到由被测目标镜位移引起的多普勒频移,并计算出被测物体的位移。