> 数据图表咨询大家基于外差干涉的光栅测量原理2025-4-2年 月 日gszqdatemark平面光栅测量系统基于外差干涉原理，进一步克服了双频激光干涉仪在大量程测量时精度易受环境影响的缺陷。在常规光栅测量上，基于外差干涉，双频激光器发出两不同频率的线偏振光垂直入射被测光栅表面，分别进行1 级和1 级衍射，衍射光经过角锥反射镜后再次入射至被测光栅表面进二次衍射，然后会合并沿垂直于光栅表面的方向返回。利用被测光栅与光栅干涉仪发生的相对运动，产生的多普勒频移量，及会合后的光束拍频，计算得到多普勒频移，并得到被测物体的位移。在该一维基础上，将光栅的刻线由一维变成二维（即平面），便可获得二维测量。国盛证券综合其他
