> 数据图表谁能回答ASML光刻机的平面光栅测量方案2025-4-2ASML 首先在光刻机工件台平面光栅测量技术上取得突破，2008 年推出 Twinscan NXT：1950i 浸没式光刻机，采用平面光栅测量技术对 2 个工件台的六自由度位置进行精密测量。通过在主基板下方布置 8 块大面积高精度平面光栅，在两个工件台上分别布置 4 个平面光栅读数头（光栅干涉仪），工件台相对于平面光栅运动时，平面光栅读数头可测出工件台的运动位移。Nikon 公司在 NSR620D 光刻机中采用平面光栅和双频激光干涉仪混合测量的技术方案，将平面光栅安装在工件台上表面，将光栅读数头安装在主基板下表面，同时增加双频激光干涉仪，结合二者的优点。在读头与读头切换时采用双频激光干涉仪进行在线正准。国盛证券综合其他
