> 数据图表咨询大家ATHENA离轴对准技术原理示意图2025-4-2ATHENA 离轴对准技术利用 632.8nm 波长的红光和 532nm 波长的绿光作为照明光束经反射镜反射后，入射到硅片对准标记上产生衍射，利用对准标记的17 级衍射光进行对准，共形成 14 个测量通道，衍射光经过对准光学系统后，在参考光栅处形成对准标记的像，透过参考光栅后形成莫尔条纹。对准过程中，工件台带动硅片沿 x 方向移动，硅片对准标记的像在参考光栅上的位置随之变化。探测器探测到的光强也随之变化，光强达到最大值时对应的位置 x0 即为 x 方向的对准位置。国盛证券综合其他
