> 数据图表谁能回答SMASH原理示意图2025-4-2ASML 在面向 65nm 技术节点的浸液光刻机 XT 1400Ei 上引入了 SMASH 对准技术。与 ATHENA 技术相比，增加了 780nm 和 850nm 两种近红外探测波长，采用自参考干涉技术，不需要使用参考光栅，对准标记的设计具有更大的灵活性，可以自由地优化光栅周期、尺寸等参数，进一步提高了对准精度和工艺适应性。国盛证券综合其他
