> 数据图表谁能回答科益虹源ArF干式DUV准分子激光器2025-4-2专注半导体高端光源技术，布局全产业链解决方案。科益虹源于 2016 年 7 月由亦庄国投、中科院微电子所、国科控股和技术团队共同发起设立，肩负专项成果转化重任。公司是一家专注于半导体行业高端光源设备研发的高科技企业，是中国唯一、全球第三家具备光刻准分子激光技术全链条研发和产业化能力的公司，业务涵盖国产自研光刻曝光光源产品、进口高端光源技术服务、集成电路检测光源、高端光源核心元器件等领域。国盛证券综合其他
