> 数据图表咨询下各位华卓精科HBS系列全自动晶圆混合键合系统2025-4-2华卓精科成立于 2012 年 5 月，目前为国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，主营业务以超精密测控技术为基础，研究、开发和生产超精密测控设备部件、超精密测控设备整机并提供相关技术开发服务，主要产品包括精密运动系统、静电卡盘和隔振器等超精密测控设备部件，以及晶圆级键合设备、激光退火设备等超精密测控设备整机，应用领域覆盖集成电路制造、超精密制造、光学、医疗、3C 制造等行业。 公司精密运动系统产品采用定制化技术路线，从细分领域切入，逐步实现全应用领域的覆盖，拥有精度高、产品成熟和性能好等特点，定位精度可达 60nm，产品已进入各领域龙头企业供应链，同时为多所高正和科研机构提供产品和技术服务晶圆级键合设备采用了面对面对准的方式，扩大了适用晶圆种类，并采用精密控制技术和图形分析算法，使晶圆对准精度达到 150nm激光退火设备采取差异化技术路线，提出多波、多光束叠加退火的核心技术，实现了光束和温度场的灵活可控，已实现首台激光退火设备的生产并向燕东微电子等客户交付，通过用户验收纳米精度运动及测控系统采用目前最先进的磁悬浮平面电机驱动导向一体化结构，在自主开发的先进算法控制下实现纳米级分辨率及相应套刻精度指标公司自主研发的静电卡盘产品在产品结构设计、尺寸形位精度及使用可靠性等方面具有技术优势，一定程度上破除了国外厂商在该产品领域内的长期垄断局面。 公司 DWS 系列光刻机双工件台采用平台化、模块化的设计，可实现优于 4.5nm 的运动平均偏差，正在研发中的 DWSi 系列光刻机双工件台运动平均偏差优于 2.5nm，可应用于 ArFi 光刻机。国盛证券综合其他
