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我想了解一下电子级硅片对生产设备材料要求极为严格,我国相应原材料储备量较少

2025-4-2
我想了解一下电子级硅片对生产设备材料要求极为严格,我国相应原材料储备量较少
电子级硅片对生产设备材料要求极为严格,我国相应原材料储备量较少• 在半导体制造领域,使用杂质含量较高的石英坩埚或高纯度石英组件会对半导体器件的生产和功能产生多种不利影响。铝、硼和磷等杂质,即使是极少量的杂质,也会成为无意的掺杂剂,改变硅晶片的电气特性。这些变化会导致掺杂浓度的不良变化,从而导致晶圆上半导体的电性能不一致。• 半导体硅片对原材料纯度要求较高,电子级多晶硅的纯度要求在9N(99.9999999%),甚至11N纯度。通过化学还原生成多晶硅料再进行提纯,从而得到电子级多晶硅• 电子级硅片生产工艺对原材料高纯度石英砂纯度要求在4N5(99.995%),甚至5N(99.999%,如SibelCo的IOTA-8,金属杂质含量不超过10mg/Kg)图表:IOTA高纯度石英砂对金属杂质含量要求及中国光伏用石英砂各元素杂质(mg/Kg)元素IOTA-StdIOTA-4IOTA-6IOTA-8中国光伏石英砂标准铝铁钙钾锂钠硼镁锰钛镍铬铜140.30.60.70.51<0.1<0.050.0391.20.0010.0060.02880.30.740.21<0.050.070.0131.40.0020.0070.00480.20.70.10.2<0.1<0.050.070.0081.40.0020.0030.0018<0.050.64<0.05<0.05<0.05<0.05<0.050.0011.3<0.0010.001<0.001<20<0.5<1<1<1<1<0.1<0.5<0.2<1.5<0.1<0.1<0.1数据来源:SibelCO,光伏用石英砂标准,金元证券研究所