> 数据图表请问一下掩模版主要成分表2025-5-1光掩模由基板和遮光膜组成。基板材料是光掩模版的基础材料，是指涂布了不透光材料（遮光膜）和感光材料的玻璃基板衬底。基板衬底必须具备良好的光学透光特性、尺寸及化学稳定性、表面平整，无夹砂、气泡等微小缺陷。常用的玻璃基板材料有碱石灰白冕玻璃、低膨胀硼硅玻璃和石英玻璃。由于石英玻璃的化学性能稳定、光学透过率高、热膨胀系数低，近年来已成为制备掩模版的主流原材料，被广泛应用于超大规模集成电路掩模版制作。掩模版的掩蔽层一般为铬（Cr，Chromium），在基材上面溅射一层铬，铬层的厚度一般为 8001000 埃，在铬层上面需要涂布一层抗反射涂层。天风证券综合其他
