> 数据图表一起讨论下电子束曝光按扫描方式分类2025-5-1 光栅扫描采用高斯圆形束，电子束在整个扫描场里作连续逐点扫描，通过控制快门（束闸）的通断来进行图形的曝光。光栅扫描的优点是控制简单，不需对偏转系统进行控制。 缺点是生产效率低。 由于扫描场的范围较小，必须配合工件台的移动来完成曝光。 矢量扫描的优点是曝光效率高，只在有图形区域进行扫描曝光，减少了镜头在非图形区域所花费的时间的，而且可采用可变矩形束。 缺点是控制系统复杂，因为矢量扫描必须对偏转器进行控制，不像光栅扫描那样采用固定的偏转方式。天风证券综合其他
