> 数据图表请问一下2、我们判断气/液路类、电气类、光学类等迎来加速替代2025-5-02、我们判断气/液路类、电气类、光学类等迎来加速替代 4）气/液路类：我们判断国产化率不足20%，且美系企业占据明显优势地位。管路/管配件国产化率相对较高，原因在于超纯不锈钢加工件国内技术成熟；而泵、阀、喷淋头、真空规这类核心部件国产化率均不足10%，其中泵主要为英国爱德华和日本荏原垄断，国内沈科仪（未上市）、汉钟精机和通嘉宏瑞（未上市）已有相关产品，实现小批量出货；阀、喷淋头、真空规主要为美系大厂所垄断，气体输送系统（以gasbox为主）为上述零部件集成的模组产品，同样为美系厂商垄断。国内厂商中新莱应材业务布局广泛，基本涵盖气/液路细分品类，未来发展上限较高；管路、腔室、阀门、气柜等已经批量供货国内外巨头LAM、AMAT、北方华创、长江存储等，竞争力国内领先。表：气/液路类中细分零部件的国内外主要厂商及国产化率情况（国产化率为估计值）零部件分类国内市场规模国际主要企业国内主要企业国产化率10-20%气/液路类约300亿元管路/管配件15-20亿元美国Valex、日本Kuze、美国世伟洛克、新莱应材、Compart Systems（万业企业）30%-50%泵60-70亿元英国Edwards、日本Ebara沈科仪、汉钟精机、通嘉宏瑞气体输送系统70亿元（gasbox）美国UCT、美国lchor喷淋头20-30亿元阀（真空阀、气体阀门）70-80亿元美国LAM、韩国Hana、美国AMAT瑞士VAT、美国世伟洛克、美国MKS、美国派克、美国Valex、美国Hamlet、日本FujikinCompart Systems、富创精密、新莱应材江丰电子、新莱应材新莱应材真空规10亿元美国MKS、日本Horiba上海振太（研发）~10%<20%<10%<10%<10%资料来源：各公司招股书，各公司官网，芯谋研究，恒州诚思，QY Research，SEMI，Gartner，华西证券研究所16华西证券综合其他
