> 数据图表一起讨论下2、我们判断气/液路类、电气类、光学类等迎来加速替代2025-5-02、我们判断气/液路类、电气类、光学类等迎来加速替代 5）机电一体类：我们判断国产化率约20%-30%，美日企业处于领先地位。Chiller、L/S是刻蚀、薄膜等主工艺设备的配套设备，严格意义上不属于零部件，国内京仪装备已实现先进制程Chiller&L/S批量出货，引领国产替代。机械手（大气+真空）和EFEM是晶圆传输中核心零部件，美国Brooks和日本RORZE主导市场，国内新松机器人全面导入市场，2024年半导体业务收入5.74亿元，同比+99%；京仪装备前身为北京自动化院，自动化技术积累较好，目前EFEM已有出货，市占率有望逐步提升。 6）光学类：主要为光刻机、量检测设备核心组成部件，欧美企业实现垄断，国内处于0-1突破阶段。光刻机始终是卡脖子最关键也是最严苛的一环，国内光刻机产业链需要从底层技术和零部件开始研发，纯粹的国产化道路。目前长光所在EUV光源方面取得较好进展，华辰装备同长光大器成立子公司，主要从事超精密光学元件磨床、超精密导轨（平面、曲面）磨床的开发销售，以及承接光学元件、半导体（或碳化硅陶瓷）等超精密零部件磨削加工服务业务。零部件分类机电一体类表：机电一体类、光学类零部件的国内外主要厂商及国产化率情况（国产化率为估计值）国际主要企业国内主要企业废气处理装置德国戴思、英国Edwards、日本荏原京仪装备、盛剑环境、中微惠创(中微公司)温控装置机械手EFEM美国ATS、日本SMC、韩国GST美国Brooks、日本RORZE、日本DAIHEN日本RORZE、美国Brooks、日本Yaskawa双工台、浸液系统荷兰ASML京仪装备新松机器人新松机器人、京仪装备华卓精科（双工台）光学类光源组件物镜系统曝光系统荷兰Cymer德国Zeiss荷兰ASML长光所（华辰装备）、福晶科技（光学晶体）、赛微电子、联合光电-国产化率20%-30%20-30%40-50%10-20%10-20%N/A<1%N/AN/AN/A资料来源：京仪装备招股书，圣剑环境招股书，久谦资本，QR Research，华西证券研究所17华西证券综合其他
