> 数据图表如何才能3.4 超精密光学元件为光刻机核心零部件，极高壁垒
2025-4-03.4 超精密光学元件为光刻机核心零部件，极高壁垒&价值量赛道大口径光学镜片的加工是提高光学镜片分辨率的关键所在，光学系统对反射镜的面型精度有着苛刻的要求，长光所突破大口径磁流变抛光设备，自主研发装备全面掌握核心加工技术。1）2018年，长光所研制的4.03米大口径碳化硅反射镜成功通过验收，这也是公开报道的世界上最大口径碳化硅单体反射镜；2）同时还具备反射镜制造所需全套制造装备的研发能力，此外，长光所在4米量级反应烧结炉、FSGJ-4型非球面数控光学加工中心、4米量级大型磁控溅射镀膜机三套核心装备方面均达到国内领先水平。图：长光所磁流变抛光设备示意图图：长光所采用磁流变抛光加工4米反射镜资料来源：科普中国，中国科学院长春光学精密机械与物理研究，华西证券研究所41 
