> 数据图表如何了解检测缺陷量测尺寸2025-5-3下游应用蓬勃发展推动精密光学元件市场需求提升： 1）半导体领域：精密光学系统为光刻机及量检测设备等核心半导体设备重要组成，覆盖半导体制造全流程。我们认为，量检测及光刻设备市场规模的提升必将带动对应领域精密光学元件需求，本土厂商受益于精密光学元件整体需求上升及设备零部件自主化比例提高。 量检测设备：提高芯片良率，缺陷检测，提高精度。 前道量检测在芯片制程中起着至关重要的作用，是提高芯片良率、降低制造成本、推进工艺迭代的重要环节。过程控制设备包括应用于量测和检测设备，用于芯片生产过程中精度、降低缺陷等保障，并且协助优化设备运行，提升成品率。 1） 量测设备：主要用于精准测量半导体晶圆上的结构尺寸和材料特性，如薄膜的厚度、关键尺寸（如线宽）、刻蚀深度、表面形貌等物理性参数，以确保晶圆制造过程中的工艺步骤符合设计规格，进而保证产品的质量和性能。集成电路结构的日益复杂和工艺节点的缩小，对量测设备的高精度和高重复性提出来要求。2） 检测设备：通过扫描晶圆表面，识别和定位可能影响良率的缺陷，检测晶圆表面或电路结构中的缺陷和异常情况，如颗粒污染、表面划伤、开短路等，以防止缺陷对芯片的工艺性能产生不良影响。国盛证券综合其他
