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谁知道CVD 传输和反应步骤

2025-6-0
谁知道CVD 传输和反应步骤
(2)液相法:其原理是将锂含锂化合物,硫含硫化合物在液体介质中混合反应制备硫化锂,液体介质可以是有机溶剂或液氨。方法具有无需高温处理、工艺简单等优点,不足则包括有机溶剂易燃、易爆、易挥发硫化氢和氢氧化锂反应不充分,多级反应后续提纯困难等。(3)气相法:其原理是以锂源和硫源作为气态前驱体导入到一个反应室内发生化学反应,最终沉积形成硫化锂。优点在于纯度高、生产安全,但规模化生产也存在制备容器使用寿命、腐蚀问题和与不同材质的适应性问题。