咨询下各位常见平面滤波器的典型分类

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2025-6-0

硅基波导滤波器：若嫌 SIW 滤波器面积大，可提高衬底介电常数。高阻硅因低损耗因子、高介电常数成为优选，且硅片打孔工艺成熟，该工艺制备的滤波器称为硅基波导滤波器或 MEMS 滤波器，常用于高频且对损耗有要求的场景。