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如何才能偏滤器由穹顶板、内外靶板、抽气系统和冷却系统组成

2025-4-2
如何才能偏滤器由穹顶板、内外靶板、抽气系统和冷却系统组成
系统和冷却系统组成,通过形成等离子体边界并引导高能粒子流进入特定区域,有效减少等离子体与第一壁的相互作用,从而降低第一壁材料的侵蚀和杂质返流。