谁能回答按刻蚀材料分各类刻蚀特征

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谁能回答按刻蚀材料分各类刻蚀特征

2025-4-4

谁能回答按刻蚀材料分各类刻蚀特征

蚀与硅刻蚀。其中，介质刻蚀和硅刻蚀市场规模总占比超 90%，均广泛应用于逻辑、存储器等芯片制造中。

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