想问下各位网友电感耦合等离子体刻蚀反应腔

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2025-4-4

1）电感耦合等离子体（ICP）刻蚀：射频电源将射频电流导入线圈中，射频电流通过线圈时会产生一个电磁场，引导腔体内部的电子加速运动，加速运动的电子与刻蚀工艺气体的分子产生碰撞产生等离子体。ICP 主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的或较薄的材料。