> 数据图表如何了解电容性等离子体刻蚀反应腔2025-4-42） 电容性等离子体 （CCP）刻蚀：射频电源在两侧装有电极板的腔室内导入交流电，当交流电压为正周期时，左电极板为负极，右电极板为正极，反应室内电子会朝右侧移动，正电离子朝左侧移动反之，电子向左侧移动，正电离子朝右侧移动。射频电源通过高频的周期变化频率使两种相反带电粒子在两块电极板之间高速振荡。带电粒子高速振荡后在腔室内导入工艺气体，使两种带电粒子不停撞击工艺气体粒子并激发出等离子体。CCP 主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、沟槽等微观结构。国盛证券综合其他
