> 数据图表怎样理解离子注入机结构2025-4-4离子注入是半导体器件和集成电路生产的核心工艺之一。芯片制作过程中，为调控材料性能，改变材料电学性质，需掺入不同种类元素，这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中，以实现原子的替换或添加，离子注入机发挥重要作用，光刻机定义芯片的结构，离子注入机通过离子束注入实现精准掺杂，从而定义芯片的电学特性，是必不可少的装备。 离子注入机由离子源、离子引入和质量分析器、加速管、扫描系统和工艺腔组成。离子源可将需注入元素的气态粒子电离成离子，决定注入离子的种类和束流强度，其直流放电或高频放电产生的电子为轰击粒子，当外来电子能量高于原子的电离电位时，通过碰撞使元素发生电离，出现正电子和二次电子。正离子进入质量分析器经过筛选得到需要的离子，再通过加速管获得较高能量，由四级透镜聚焦后进入靶室，进行离子注入。国盛证券综合其他
