> 数据图表一起讨论下凯世通离子注入设备2025-4-4国产厂商主要包括凯世通和中科信等，进展顺利。目前，国内主要离子注入设备厂商为凯世通和中科信，已在某些 12 寸晶圆产线上获得工艺验证验证并验收通过。凯世通在国内 12 英寸低能大束流离子注入机市场占据领先地位，为国内低能大束流离子注入机产业化领跑者。中科信公司自主研制的离子注入机在大束流离子注入机工程化方面取得了显著成果，已实现国产离子注入机 28 纳米工艺全覆盖，是目前国内唯一的全系列集成电路离子注入机研发、制造、服务一体的供应商。国盛证券综合其他
