> 数据图表如何解释暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备2025-4-4营业收入持续高增，半导体检测与量测设备业务显著增长。中科飞测 2024 年实现营业收入 13.8 亿元，同比增长 54.9%，半导体行业收入 13.2 亿元，同比增长 55.1%，其中公司检测设备实现收入 9.9 亿元，同比增长 50.5%，量测设备实现收入 3.61 亿元，同比增长 62.9%，营收的增长主要得益于公司在核心技术上的突破和产品种类的丰富，以及国内半导体检测与量测设备市场的高速发展，客户群体覆盖度进一步扩大，客户订单量持续增长。归母净利润-0.1 亿元，主要系公司进一步加大新产品及现有产品向更前沿工艺的迭代升级等方面的研发投入，研发投入同比增长 118.17%公司制定并实施了 2024 年限制性股票激励计划，股份支付费用增加。半导体行业毛利率达到 49.2%，较上年增长 0.70 个百分点。 新产品进展顺利，向前沿工艺领域推进。1）明场纳米图形晶圆缺陷检测设备：已有小批量出货，出货客户覆盖了国内头部的逻辑、存储客户，客户端测试反馈进展顺利2）暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备：已实现了设备出货，收益于在无图形晶圆缺陷检测设备领域长期的技术积累和技术领先的优势，公司出货设备成熟度较高，未来进展预计比较顺利3）OCD 设备：客户端验证结果良好，各项性能指标均满足客户要求4）其他已量产的几大系列设备都在向更前沿工艺领域推进，公司应用在最前沿工艺的图形晶圆缺陷检测设备、薄膜膜厚量测设备以及套刻精度量测设备也都已经实现多台的出货。国盛证券综合其他
