> 数据图表一起讨论下电子特气主要应用类别2025-4-4电子特种气体,简称电子特气,是指在半导体、显示面板、光伏、LED 等电子产品生产过程中使用的特种气体。电子特种气体广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂和沉积等工艺环节,主要包括三氟化氮等清洗气体、六氟化钨等金属气相沉积气体等。相较于一般工业气体,电子特气对纯度、质量稳定性与一致性、包装容器等要求更高。作为制造过程中的基础关键材料,电子气体也被誉为电子工业的“血液”。从应用领域来看,集成电路为电子特气最大应用领域,其次为显示面板。国盛证券综合其他