谁能回答半导体设备零部件分类

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2025-4-4

且不同零部件之间工作原理各异，导致碎片化特征较明显。蔡司的用于 EUV 光刻机的空间成像测量系统（AIMS）就拥有 134 个供应商，4500 个系统部件，6.4 万个零部件。