如何才能双沟槽 LELE 技术（左）Vs.双线条 LELE 技术

> 数据图表

2025-7-1

移刻蚀并减小线条宽度进行第二次光刻胶薄膜层的涂覆并进行第二次光刻，对第一硬掩模转移刻蚀并精确控制线条宽度对第二硬掩模和目标图层先后进行转移刻蚀，最终实现目标图形成像。