> 数据图表一起讨论下适用于不同核心图层的多重图形成像技术及边界值2025-7-1自对准多重图形成像技术包括自对准三重图形成像（SATP）技术、自对准四重图形成像（SAQP）技术、自对准八重图形成像（SAOP）技术等，统称为自对准多重图形成像（SAMP）技术。SATP 具有与 SADP 不同的拆分方法，在第一次侧墙工艺之后直接进行第二次侧墙工艺，并通过裁剪工艺去除第一次侧墙材料，实现目标图形成像。由于拆分直观性较差，因此尚未有量产产品使用该技术。SAQP 是两次侧墙沉积-刻蚀工艺的叠加，可以实现半周期为 2040 nm 的致密线条图形成像，如 7 nm 技术节点的鳍型层、规则金属互连线图层的工艺实现。SAOP 是在SAQP 的基础上再增加侧墙沉积和刻蚀工艺，实验室验证其可实现只有 5.5 nm 半周期的规则线条结构。但是，由于线条质量工艺控制难度非常大，以及裁剪工艺需要的套刻精度非常高，所以对于先进节点制程，该方法只停留在实验研发阶段。华金证券综合其他
