如何了解EUV 光源系统结构图

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2025-7-1

和功率放大器。前脉冲和主脉冲击中锡液使其气化3）锡原子被电离，产生高强度的等离子体4）收集镜捕获等离子体向所有方向发出的 EUV 辐射，汇聚形成光源5）将集中起来的光源传递至光刻系统以曝光晶片。