> 数据图表如何解释光刻机镜片制造流程2025-7-1（2）数值孔径（NA）物镜加工精度确保光线高精度聚焦镜坯首先由高精度机床铣磨成型，再使用小磨头抛光、磁流变抛光、离子束抛光等超精密抛光手段，才能达到所需的精度，最后再进行镀膜（对于 DUV 物镜，是镀减反射膜对于 EUV物镜，是镀反射多层膜）。高数值孔径极紫外光刻的照明系统由大约 25,000 个零件组成，重量超过六吨，其投影光学系统由 40,000 多个零件组成，重约 12 吨，可确保晶圆扫描仪中的光线高精度聚焦。为此，在物镜表面上蒸镀了 100 多个极薄的硅和钼层-每层厚度只有几个原子层。需要精度举例，如一面镜子大到可以覆盖德国的表面积，其最大的不均匀度将小于 100 微米。华金证券综合其他
