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如何解释TWINTWINSCAN 双工件台工作动图

2025-7-1
如何解释TWINTWINSCAN 双工件台工作动图
3)运动稳定:ASML 光刻机利用所谓的 balance mass 来吸收平衡晶圆平台所施加于机座的反作用力,完美平衡,整座机台完全静止。