如何才能三种计算光刻技术对比

> 数据图表

2025-7-1

（4）工艺系数（k1）计算光刻技术计算光刻技术是指利用计算机辅助技术来增强光刻工艺中图形转移保真度的一种方法，它是分辦率增强技术RET的延伸，其关键技术主要包括光学成像物理仿真、光学邻近效应校正OPC、光源-掩膜协同优化 SMO）等。