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我想了解一下侧壁缺陷导致 Micro LED 可用发光面积大幅减小

2025-7-5
我想了解一下侧壁缺陷导致 Micro LED 可用发光面积大幅减小
侧壁损伤:微缩制程下,边界刻蚀带来的侧壁损伤导致 Micro LED 可用发光面积大幅减少。例如,在 250x250um 的 LED 芯片上出现约 2um 的侧壁缺陷,仍有97%的可用发光区而在 5x5um 的 Micro LED 芯片上出现 2um 的侧壁缺陷,则可用发光区面积大幅减少,仅剩 4%。