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你知道CoWoS 三种工艺的结构不同,对应的应用场景和优势各有差异

2025-8-4
你知道CoWoS 三种工艺的结构不同,对应的应用场景和优势各有差异
CoWoS 家族中,CoWoS-R 采用 RDL 中介层,降低成本的同时提升封装扩展性。CoWoS-R 采用类 InFO 工艺,构建 RDL(Redistribution Layer)中介层,本质上为一种“有机材料铜布线”的中介层结构。该结构不再使用传统硅中介层,而是通过多层铜互连与低 k 聚合物介质材料(如聚酰亚胺)实现芯粒之间的高密度连接。从结构上,包括逻辑芯片、存储芯片及小芯片模块等均通过微凸点(micro bump)与 RDL中介层互联,并最终由 C4 凸点连接至封装基板。整体结构较薄,封装厚度更易控制。相较传统硅中介层(CoWoS-S),CoWoS-R 不需要 TSV,具备明显的成本优势,但是随着尺寸提升,仍需面对掩模拼接和多种材料 CTE 失配引起的良率控制问题。台积电已于 2023 年实现 CoWoS-R 的量产,2025 年有望推出 1.6x reticle 尺寸的大封装规格,可支持汽车电子等下游场景。CoWoS-L:局部硅互连全局 RDL 作为中介层,兼顾高性能的同时,有望进一步推进封装尺寸提升。CoWoS-L(Local Interconnect)是台积电 CoWoS 系列中面向大规模 AI 和 HPC 应用的新一代封装架构,其最大创新在于采用硅互连(LSI)芯片、全局 RDL 以及模塑形成中介层,取代传统的单一大尺寸硅中介层。LSI 单元保留了硅中介层的优良特性,包括亚微米铜互连、硅通孔(TSV)和嵌入式深沟槽电容(eDTC),以确保良好的系统性能同时在中介层中引入了绝缘体通孔(TIV)作为垂直互连,提供了比 TSV 更低插入损耗的路径。与 CoWoS-S 相比,CoWoS-L 有效规避了大尺寸硅中介层所带来的问题,比如成品率下降的矛盾。