> 数据图表请问一下1.15 光学邻近校正软件是该技术实现的抓手2025-8-21.15 光学邻近校正软件是该技术实现的抓手Ø OPC技术通过对掩模图形的边缘进行调整，如边缘偏移、细化或加粗，来补偿光学邻近效应。根据修正策略的不同，OPC主要可以分为两类：基于规则的OPC（RBOPC）和基于模型的OPC（MBOPC）。Ø 20世纪90年代开始，计算机辅助设计（CAD）技术的兴起使得自动的光学邻近效应校正成为可能。在分辨率增强技术发展过程中，OPC等计算光刻软件的重要性越来越突出。OPC系统工作流程图OPC软件示意图资料来源：《芯片制造语境下的计算光刻技术》施伟杰等、深圳电子商会官网，华金证券研究所请仔细阅读在本报告尾部的重要法律声明18华金证券综合其他
