> 数据图表谁能回答3.1 ASML是全球唯一的EUV供应商
2025-9-13.1 ASML是全球唯一的EUV供应商n ASML光刻机种类最齐全，是全球唯一可生产EUV光刻机的公司，制程最小可达3nm。Ø 1）从类型来看，ASML覆盖了干式DUV光刻机、浸没式DUV光刻机及EUV光刻机，是全球唯一可生产EUV光刻机的公司，具有较强的领先优势。Ø 2）从光源来看，ASML覆盖了i-line、KrF、ArF和极紫外光源，最小光源波长为13.5nm。Ø 3）从分辨率来看, ASML覆盖了220nm、110nm、80nm、38nm、13nm等节点，EUV光刻机是目前全球分辨率最小的光刻机，经过多重曝光等工艺叠加制程可达到5nm/3nm。表：ASML半导体光刻机产品参数图：ASML光刻机发展历程产品系列产品名Dry systems（干式DUV）TWINSCAN XT:400LTWINSCAN XT:860MTWINSCAN XT:860NTWINSCAN NXT:870TWINSCAN XT:1060KTWINSCAN XT:1460KTWINSCAN NXT:1470TWINSCAN NXT:1980DiImmersion systems（浸没式DUV）TWINSCAN NXT:2000i光源i-lineKrFKrFKrFKrFArFArFArFiArFiEUV光刻系统TWINSCAN NXT:2050iArFiTWINSCAN NXE:3400C 极紫外EUVTWINSCAN NXE:3600D 极紫外EUV来源：ASML官网，中泰证券研究所光源波长365nm248nm248nm248nm248nm193nm193nm数值孔径NA 最高生产分辨率0.650.80.80.80.930.930.93220nm110nm110nm110nm80nm65nm57nm193nm（等效134nm)193nm（等效134nm)193nm（等效134nm)13.5nm13.5nm1.351.351.350.330.3338nm38nm38nm13nm13nm21 
