> 数据图表如何解释3.2 光刻机核心标的
2025-9-13.2 光刻机核心标的n 光刻机由光源、照明系统、投影物镜、工件台等部件组装而成，核心部件技术难度高，被海外厂商垄断，目前大陆厂商陆续实现从0到1的突破。n 建议关注：茂莱光学、福晶科技、波长光电、腾景科技等。图表：光刻机产业链公司标的公司光刻机参与产品茂莱光学光刻机光学透视镜提供商福晶科技核心晶体材料，用于光源系统波长光电先进制程光刻设备光源里的光学镜片；照明系统里的匀光、整形、引导镜片腾景科技多波段合分束器等炬光科技半导体激光退火系统及核心元器件苏大维格定位光栅晶方科技子公司Anteryon为全球领先的光学设计和晶圆级光学镜头制造商，是ASML光学平台和晶圆对位传感器的供应商美埃科技洁净过滤产品富创精密半导体零部件制造的工艺技术达到主流国际客户标准，是ASML的战略供应商新莱应材真空产品以及气体产品均可以应用到光刻机的设备中代码688502.SH002222.SZ301421.SZ688195.SH688167.SH300331.SZ603005.SH688376.SH688409.SH300260.SZ来源：中泰证券研究所24 
