> 数据图表如何了解屹唐股份三类成熟产品在细分领域具有国际竞争力2025-9-2圆双面辐射加热快速热退火技术、晶圆表面局部温度均匀度调节技术等核心技术。公司将核心技术运用于干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备的产品设计当中，将先进的核心技术概念转化为产品设计中的独特技术特征，从而有助于形成技术优势，扩大市场份额。具体而言：（1）公司干法去胶设备达到国际领先水平，在基底材料保护、颗粒污染、芯片制造良率、单位时间生产效率、产能、综合持有成本等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色（2）公司快速热处理设备达到国际领先水平，在晶圆表面器件快速热退火图形效应、晶圆表面器件热应力控制能力、晶圆表面瞬时测温能力、控温能力、单位时间生产效率、产能、综合持有成本等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色（3）公司干法刻蚀设备达到国内领先、国际先进水平，在关键刻蚀工艺选择比、关键尺寸均匀性、关键尺寸稳定性、单位时间生产效率、反应腔连续生产时间、损耗品消耗成本、设备占地等主要技术指标、关键性能参数方面表现出色。公司核心技术成功应用于公司各系列产品，各产品在细分领域具有国际竞争力，并与产业实现了深度融合，产业化水平较高，同时形成了一系列重要科研成果。截至 2025 年 2 月 11 日，公司已授权发明专利 445项、实用新型专利 1 项，并承担两项国家重大科研项目课题。公司充分发挥核心技术优势，以研发驱动业绩增长，打造世界一流的产品及服务，致力于为集成电路制造环节提供更先进处理能力和更高生产效率的集成电路设备。开源证券综合其他
