咨询大家半导体行业生产加工各环节所需的主要石英制品类型及功能

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2025-10-2

制品是芯片生产工艺过程中承载硅片的耗材，在半导体产业的应用主要在单晶硅片制造和晶圆制造两个环节。石英舟、石英管道主要应用在氧化、扩散、CVD 环节不同类型的石英仪器分别用于氧化、扩散、CVD、清洗、刻蚀及金属提纯等环节。