> 数据图表

如何了解三种典型的显影液喷淋方式

2025-8-1
如何了解三种典型的显影液喷淋方式
光刻胶需要使用动态喷淋解决表面张力大带来的线宽不均匀问题,去离子水用于终止显影过程并清洗光刻胶颗粒,而表面活化剂可以有效解决线条表面张力大导致的线条倒塌问题。