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请问一下湿法清洗可以去除多种残留物质

2025-8-1
请问一下湿法清洗可以去除多种残留物质
无损伤清洗,以去除集成电路制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层和抛光残留物等物质,主要分为物理清洗和化学清洗。