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如何了解半导体生产制造中的主要湿法清洗方式

2025-8-1
如何了解半导体生产制造中的主要湿法清洗方式
艺。随着集成电路线宽的不断缩小,对污染颗粒大小及数量、金属污染控制等要求越来越严格,单片式清洗机、刷洗机陆续出现,单片清洗逐渐占据清洗市场主要份额。